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    什么是半導(dǎo)電薄膜
    
						  
    半導(dǎo)電薄膜只有半絕緣多晶硅薄膜。半導(dǎo)體薄膜主要有外延生長(zhǎng)的Si單晶薄膜和CVD生長(zhǎng)的摻雜多晶硅薄膜、半絕緣多晶硅薄膜。絕緣體薄膜主要有氧化硅薄膜、氮化硅薄膜等。金屬薄膜主要有Al、Au、NiCr等的薄膜。工藝中用到的薄膜技術(shù)光刻膠薄膜。
    
						  
						  
						  
						  
						  
						  
						
    
						 




					
    
				
    
				
    
			
    
		
    
	
    

    




    

	
	
		
		
		
		
		
		


		

		
		

	
	




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